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  518 系列 — 高精度ABSOLUTE 數(shù)顯測(cè)高儀

  日本三豐測(cè)高儀518-236，QM-Height 精度高達(dá)（1.1+0.6L/600）um分辨率為0.1un/重復(fù)精度0.4um 確保5um的垂直度G正E面）和4um的直線度 配置全/半氣浮系統(tǒng)，可根據(jù)操作情況（移動(dòng)/測(cè)量）調(diào)節(jié)氣墊高度，在保持精度不變的同時(shí)完成快速檢驗(yàn)

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